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8英寸压电MEMS超声传感器晶圆 MEMS超声波传感器芯片 测距模组 满溢模组 气体流量模组 研发合作
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8英寸压电MEMS超声传感器晶圆
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  •    通过成套可量产化流片工艺，制备高良率基于掺钪氮化铝薄膜材料的8英寸MEMS传感器晶圆。


    参数符号备注最小值典型值最大值单位
    中心频率fc气体介质40可定制500kHZ
    中心频率fc液体介质0.5可定制10MHZ
    指向性FOV可按需定制10可定制170deg

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